VOCs信息与决策平台 VOCs大数据
中国是世界上第一大电子产品消费国，也是世界电子产品制造大国。近年来，中国电子信息产品制造行业保持稳定增长，截至到2018年底，中国规模以上电子信息产品制造企业收入规模达****万亿元，同比增长****%。从区域分布来看，中国电子信息产品制造行业主要分布在****城市。
电子行业VOCs废气主要来源于****的使用，主要排放物质为****等。
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电子工业 |
生产线及VOCs产生节点 |
主要污染物质 |
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电子专用材料 |
半导体材料、覆铜板材料、电子铜箔材料、真空电子材料、磁性材料、光电子材料、****材料、信息化学品材料、电子陶瓷材料 |
****材料 |
****类、****类、****类等 |
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****材料 |
**** |
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****材料 |
联****类、****类、****基环己烷类、含氧杂环****类、嘧啶环类、二****乙炔类、乙基桥键类和烯端基类以及各种含氟****环类 |
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**** |
****类、****类等 |
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半导体器件 |
集成电路 |
**** |
丙****、异丙****、醋酸丁****、甲****等 |
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电子元件及印制电路板 |
电子元器件（电阻器、电容器、电感器、真空电子器件、半导体器件） |
**** |
烃、****类、****类等 |
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印制电路板 |
**** |
甲****、****类（乙****、异丙****、丁****、丙****)、****类（丁****)、****类（乙酸乙****、乙酸丁****)、甲****、二甲****等 |
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电真空器件、平板显示器件、光电子器件 |
电真空器件 |
**** |
甲****、醋酸丁****、乙****等 |
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薄膜晶体管液体显示器 |
**** |
甲****、乙****、丙****、异丙****、二甲****、乙****、丙二****醚****、单甲基醚丙二****、丙二****甲醚醋酸****、单乙基醚丙二****、六甲基二硅烷****、丙二****甲醚、N－甲基2－四氢吡各****等 |
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等离子显示器（PDP） |
**** |
甲****、乙****、甲****、甲****氯仿、六甲基二硅烷****等 |
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光电子显示器（LED） |
**** |
三氯乙烯、乙****、丙****、异丙****、丙二****醚脂、四甲基氢氧化铵、丁****等 |
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电子终端产品 |
—— |
**** |
乙****、异丙****、丙****、二甲****、甲****、****、****类、****类、****类等 |
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产生的工序 |
污染源 |
主要污染物 |
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蚀刻工序 |
****蚀刻 |
****废气 |
**** |
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****蚀刻 |
****废气 |
**** |
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贴膜、烘干、沉铜、印刷等工序 |
****废气 |
甲醛、****类（乙****、异丙****、丁****、丙****）、酮类（丁酮）、****类（乙酸乙****、乙酸丁****）、苯、甲苯、二甲苯等 |
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****工序 |
****废气 |
**** |
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开料、磨板、钻孔、产品成型等工序 |
****废气 |
**** |
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产生的工序 |
污染源 |
主要污染物 |
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阵列工程 |
清洗 |
****废气 |
**** |
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化学气相沉积 |
****废气 |
**** |
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光刻 |
****废气、****废气 |
****类（单甲基醚丙二****、异丙****等），****类（丙二****甲醚乙酸****等）等 |
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光刻胶剥离 |
高沸点****废气 |
二甲****、乙****等，剥离液产生的污染物中，高沸点****废气含量小于2%，****废水为98%，VOCs产生量少。 |
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刻蚀 |
****废气、****废气 |
**** |
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彩膜工程 |
BM膜涂光刻胶 |
****废气、****废气、****废气 |
****类（单甲基醚丙二****、异丙****等）、****类（丙二****甲醚乙酸****等）、硝酸、氢氧化钾等 |
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R/G/B膜涂膜刻胶 |
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保护膜生成 |
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MVA膜、PS膜生成 |
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成盒工程 |
清洗 |
****废气 |
****四氢吡各****、丙****等 |
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产生的工序 |
污染源 |
主要污染物 |
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电路板清洗机 |
****废气 |
**** |
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喷漆室、烘干室 |
****废气 |
**** |
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注塑机 |
****废气 |
**** |
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固化室 |
****废气 |
**** |
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回流焊/波峰焊/手工焊 |
****烟气 |
**** |
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工艺环节 |
使用物质 |
形成的污染物 |
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废水性质 |
污染因子 |
废气性质 |
污染因子 |
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基片处理 |
**** |
****废水 |
**** |
****废气 |
VOCs |
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外延工艺 |
**** |
**** |
**** |
****废气 |
**** |
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**** |
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**** |
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氢氧化钠光刻 |
**** |
****废水 |
**** |
****废气 |
VOCs |
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丁酮 |
**** |
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硅烷 |
**** |
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三甲基**** |
**** |
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三甲基**** |
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三甲基**** |
**** |
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项目 |
具体工艺 |
污染物 |
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原材料清洗 |
****溶剂清洗、****清洗等 |
**** |
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焊接工艺 |
****焊接、****焊接等 |
****蒸汽、****废气 |
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切削工艺 |
****、****切割等 |
****蒸汽、****气 |
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冷冲压工艺 |
****、****等 |
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电镀工艺 |
电镀****、****等 |
****蒸汽、****、****等氰化物镀种 |
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喷涂工艺 |
****膜、****膜等 |
****蒸汽、甲****、****、****、****废气 |
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其他工艺 |
****、防****处理等 |
****蒸汽、异丙****、****、****废气、****气 |
目前，中国环保部于2018年出台了《电子工业污染物排放标准》（二次征求意见稿），电子行业VOCs排放国家标准很快就会正式出台。
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序号 |
时间 |
标准名称 |
VOCs限值（mg/m3） |
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现有企业 |
新建企业 |
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1 |
2008年 |
《电子工业污染物排放标准 ****》（征求意见稿） |
**** |
**** |
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2 |
2008年 |
《电子工业污染物排放标准 ****》（征求意见稿） |
**** |
**** |
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3 |
2008年 |
《电子工业污染物排放标准 ****》（征求意见稿） |
**** |
**** |
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4 |
2008年 |
《电子工业污染物排放标准****》（征求意见稿） |
**** |
**** |
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5 |
2015年 |
《电子工业污染物排放标准****》（征求意见稿） |
**** |
**** |
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6 |
2018年 |
《电子工业污染物排放标准****》（二次征求意见稿） |
**** |
**** |
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序号 |
地区 |
标准编号 |
标准名称 |
实施日期 |
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1 |
北京 |
**** |
**** |
2018-1-1 |
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2 |
天津 |
**** |
**** |
2014-8-1 |
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3 |
上海 |
**** |
**** |
2007-2-1 |
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4 |
广东 |
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**** |
2017 |
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5 |
江苏 |
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**** |
2018 |
目前国内外电子制造行业使用的****废气治理方法，主要有吸附法、吸收法、燃烧法、回收法，常用技术包括活性碳吸附法、沸石分子筛浓缩转轮燃烧法、蓄热式催化燃烧法。
电子行业各个生产阶段的生产工艺不同，产生的VOCs废气差别较大，采用单一的治理技术处理效果较差，根据VOCs废气的成分、浓度、风量等的不同，量身定制适合的工艺组合方法效率高，经济性强。
液晶显示器生产过程中排放的VOCs主要是异丙****、丙酮及其它，如甲基醚丙二****、单甲基醚丙二****乙酸****、苯类等。采用的治理技术主要是吸附法，之后回收或是浓缩焚烧处理。
喷漆废气水濂吸收设施运行率很高，吸收法运行率也很高，近****%，直接燃烧设施运行率很高，但吸附（浓缩燃烧或回收设施）运行率很低，很多小于****%。
目前国内喷漆****废气的主要通过****、****或****进行治理。
****法是目前广泛使用的****废气处理技术，其原理是利用****剂的多孔结构，将废气中的VOCs捕获。****剂应能满足：比表面积和孔隙率大，****能力强，具有一定的颗粒度，较好机械强度、化学稳性和热稳定性，使用寿命长，价格低廉，原料来源充足。处理喷涂废气可选吸附剂有活性炭、活性炭纤维、焦炭粉粒等。
直接****法（或称为热氧化）是通过****来消除****物废气污染物的方法，是使用****废气在温度600-800℃和滞留时间0.3-0.5s的条件下直接****，变成二氧化碳和水，适用于浓度较大的****废气。为降低燃料费用，需要回收排放气中的热量。
催化****法是一种类似****法的方式来处理VOCs，操作温度较普通****法低一半，通常为200-400℃，将****物氧化成二氧化碳和水，同时发出****热。它净化****物是用铂、钯等贵金属催剂及过渡金属氧化物催化剂来代替火焰，由于温度降低，允许使用标准材料来代替昂贵的特殊材料，大大地降低了设备费用和操作费用。系统采间壁式和蓄热式两类热量回收方式。
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处理方法 |
浓度（mg/Nm³） |
排气量 |
温度（℃） |
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****燃烧技术 |
**** |
**** |
**** |
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****技术 |
**** |
**** |
**** |
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…… |
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电子行业各个具体的产污环节所用组合技术均有差别，主要以****为主，建设费用和运营费用相对较低，仅有一些污染物产生浓度较大的环节采用****大型处理设施，VOCs废气的产生比较分散。
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企业
（编号） |
企业产值（万元/年） |
产污环节 |
处理设施（组合） |
处理设施 |
设施投资费用 （万元） |
设施占费用（%） |
运行占费用（%） |
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1 |
2 |
喷油、烘烤 |
**** |
**** |
**** |
**** |
**** |
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2 |
3 |
****喷涂 |
**** |
**** |
**** |
**** |
**** |
|
…… |
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电子行业产生的VOCs主要来源于涂料及****溶剂的使用过程，涂料的使用所产生的VOCs占整个电子行业VOCs排放量的****%，其中，每吨涂料产生VOCs约****吨。
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VOCs年排放量（吨） |
部分代表企业 |
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≥10 |
****公司 |
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10-20 |
****公司 |
|
20-30 |
****公司 |
|
30-40 |
****公司 |
|
40-50 |
****公司 |